光罩检测晶圆排序机
发布于：
2013年11月12日
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光罩检测晶圆排序机
- 法国RECIF的SPR光罩设备是自动光罩移片机,并带有灰尘颗粒检测和消除静电功能, 本设备可以使用SMIF盒和手动打开的光罩运输盒, 可以把光罩从光罩运输盒传送到SMIF盒里.
- 本产品不需真空,可以读光罩刻号并具有实时光罩安全监测功能.
SPR – Reticle handling and inspection
- The RECIF’s SPR reticle tool is automated reticle sorter with an inspection station combined with a de-ionized nitrogen cleaning feature.
- The reticle tool can be configured for both manual open shipping boxes and SMIC compatibility, reticles can be transfer from shipping box to SMIF POD’s
- Vacuum free reticle transfer and ID read.