BFS300 – 25片翻片机
发布于：
2013年10月12日
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BFS300 – 25片翻片机
- RECIF专利 – 无真空晶圆边缘接触式整批翻片机，可以实现25片晶圆一次反转。
- 每小时可实现翻片1，500片。
BFS300 – batch flip system
- RECIF patented – vacuum free edge contact,
- Flip 25 wafers at once
- Throughput – 00 WPH
- 已经没有了
- 真空吸笔 »