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SRT300 – 单片导片机(独立式)
2013-11-13
SRT300 – 单片导片机(独立式) 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。 本设备自带FFU环境,洁净度达到0.1级 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上,所以本产品具有体积小,传送效率高和最低的生产成本。 可选择配置2,3或4个晶圆盒装载台。 SRT300 –wafer sorter(stand alone) Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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SPP200S – SMIF型导片机
2013-11-12
请参阅: http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11 please see details at: http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
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ESR300 – 单片导片机(集成式)
ESR300 – 单片导片机(集成式) 本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统(wafer stocker)集成在一起,以帮助客户减少生产成本。 可选择配置2或4个晶圆装载台 ESR300 – wafer sorter(embedded with stocker) It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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BPP300 – 25片整批导片机
BPP300 – 25片整批导片机 RECIF专利 – 无真空晶圆边缘接触式整批导片机,可以实现25片晶圆一次转移到另一晶圆盒。 每小时可导片2,800片。 BPP300 – 25 transfer system RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system, Transfer 25 wafers at once Throughput – 2800WPH。
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BLM300 – 强光灯检测模块
BLM300 – 强光灯检测模块 本产品可以放置在晶圆导片机或生产设备的晶圆装载台上,透过三个特制的强光灯的灯光,操作工可以检测晶圆表面的颜色均匀度,灰尘颗粒和划伤。 BLM300 – Bright Light Module The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.
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BFS300 – 25片翻片机
2013-10-12
BFS300 – 25片翻片机 RECIF专利 – 无真空晶圆边缘接触式整批翻片机,可以实现25片晶圆一次反转。 每小时可实现翻片1,500片。 BFS300 – batch flip system RECIF patented – vacuum free edge contact, Flip 25 wafers at once Throughput – 00 WPH