BPP300 – 25片整批导片机
发布于：
2013年11月12日
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BPP300 – 25片整批导片机
- RECIF专利 – 无真空晶圆边缘接触式整批导片机，可以实现25片晶圆一次转移到另一晶圆盒。
- 每小时可导片2，800片。
BPP300 – 25 transfer system
- RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system，
- Transfer 25 wafers at once
- Throughput – 2800WPH。