ESR300 – 单片导片机（集成式）
发布于：
2013年11月12日
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ESR300 – 单片导片机（集成式）
- 本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统（wafer stocker）集成在一起，以帮助客户减少生产成本。
- 可选择配置2或4个晶圆装载台
ESR300 – wafer sorter（embedded with stocker）
- It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。
- Patented embedded alignment and ID reading on finger
- 2 or 4 FOUP configuration available