ESR300 – 单片导片机(集成式)

ESR300 – 单片导片机(集成式)

  1. 本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统(wafer stocker)集成在一起,以帮助客户减少生产成本。
  2. 可选择配置2或4个晶圆装载台

 

ESR300 – wafer sorter(embedded with stocker)

  1. It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。
  2. Patented embedded alignment and ID reading on finger
  3. 2 or 4 FOUP configuration available
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