SRT300 – 单片导片机(独立式)
发布于:
2013年11月13日
浏览:
3,417
SRT300 – 单片导片机(独立式)
- 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。
- 本设备自带FFU环境,洁净度达到0.1级
- 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上,所以本产品具有体积小,传送效率高和最低的生产成本。
- 可选择配置2,3或4个晶圆盒装载台。
SRT300 –wafer sorter(stand alone)
- Vacuum free edge contact wafer handling。
- Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU
- Patented embedded alignment and ID reading on finger。
- Smallest footprint
- 2 to 4 FOUP configuration available.
- « 硅片推片机 AM5
- 已经没有了