SRT300 – 单片导片机（独立式）

SRT300 – 单片导片机（独立式）

1. 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。
2. 本设备自带FFU环境，洁净度达到0.1级
3. 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上，所以本产品具有体积小，传送效率高和最低的生产成本。
4. 可选择配置2，3或4个晶圆盒装载台。

SRT300 –wafer sorter（stand alone）

1.  Vacuum free edge contact wafer handling。
2. Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU
3. Patented embedded alignment and ID reading on finger。
4. Smallest footprint
5. 2 to 4 FOUP configuration available.