BPP200 – 整批导片机
发布于：
2013年11月12日
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BPP200 – 整批导片机
- 本产品使用无真空技术
- 晶圆整体从一个晶圆盒拿出，放到另一个晶圆盒里
- 实时晶圆安全监测
- 可以选择一个或两个晶圆盒放置台
BPP200 – Batch wafer transfer
- Vacuum free edge contact
- Transfer batch wafers
- One or two load port optional