SPP200 – 单片导片机
发布于：
2013年11月12日
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SPP200 – 单片导片机
- 本产品使用非真空技术，可以从同一晶圆盒取放晶圆，或从一晶圆盒取晶圆，但放到另一晶圆盒里．
- 使用单一晶圆手臂，在保证晶圆安全下，和晶圆背面有最少的线性接触．
- 本产品由纯净有机材料制成，具有静电保护功能，所有符合ＳＥＭＩ标准的晶圆盒都可以使用
SPP200 – wafer sorter
- RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading．
- Transfer wafer from one carrier to another carrier．