SPP200 – 单片导片机
发布于:
2013年11月12日
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SPP200 – 单片导片机
- 本产品使用非真空技术,可以从同一晶圆盒取放晶圆,或从一晶圆盒取晶圆,但放到另一晶圆盒里.
- 使用单一晶圆手臂,在保证晶圆安全下,和晶圆背面有最少的线性接触.
- 本产品由纯净有机材料制成,具有静电保护功能,所有符合SEMI标准的晶圆盒都可以使用
SPP200 – wafer sorter
- RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading.
- Transfer wafer from one carrier to another carrier.