SRT300 – 单片导片机（独立式）

2013-11-13

SRT300 – 单片导片机（独立式） 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。 本设备自带FFU环境，洁净度达到0.1级 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上，所以本产品具有体积小，传送效率高和最低的生产成本。 可选择配置2，3或4个晶圆盒装载台。 SRT300 –wafer sorter（stand alone）  Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.

分类： 300mm设备/晶圆传送设备/晶圆半导体设备

标签：300mm单片导片机导片机晶元半导体设备晶圆传送设备独立式