BLM300 – 强光灯检测模块

2013-11-12

BLM300 – 强光灯检测模块  本产品可以放置在晶圆导片机或生产设备的晶圆装载台上，透过三个特制的强光灯的灯光，操作工可以检测晶圆表面的颜色均匀度，灰尘颗粒和划伤。   BLM300 – Bright Light Module The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.

分类： 300mm设备/晶圆传送设备/晶圆半导体设备

标签：300mm强光灯晶元半导体设备晶圆传送设备晶圆检测

光罩检测晶圆排序机

光罩检测晶圆排序机 法国RECIF的SPR光罩设备是自动光罩移片机,并带有灰尘颗粒检测和消除静电功能, 本设备可以使用SMIF盒和手动打开的光罩运输盒, 可以把光罩从光罩运输盒传送到SMIF盒里. 本产品不需真空,可以读光罩刻号并具有实时光罩安全监测功能.   SPR – Reticle handling and inspection The RECIF’s SPR reticle tool is automated reticle sorter with an inspection station combined with a de-ionized nitrogen cleaning feature. The reticle tool can be configured for both manual open shipping boxes and SMIC compatibility, reticles can be transfer from shipping box to SMIF POD’s Vacuum free reticle transfer and ID read.

分类： 光罩检测和移片机 SPR/晶圆传送设备/晶圆半导体设备

标签：光罩设备晶元半导体设备晶圆传送设备晶圆检测移片机