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SRT300 – 单片导片机（独立式）
2013-11-13
SRT300 – 单片导片机（独立式） 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。 本设备自带FFU环境，洁净度达到0.1级 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上，所以本产品具有体积小，传送效率高和最低的生产成本。 可选择配置2，3或4个晶圆盒装载台。 SRT300 –wafer sorter（stand alone） Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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ESR300 – 单片导片机（集成式）
2013-11-12
ESR300 – 单片导片机（集成式） 本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统（wafer stocker）集成在一起，以帮助客户减少生产成本。 可选择配置2或4个晶圆装载台 ESR300 – wafer sorter（embedded with stocker） It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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SPP200 – 单片导片机
SPP200 – 单片导片机 本产品使用非真空技术，可以从同一晶圆盒取放晶圆，或从一晶圆盒取晶圆，但放到另一晶圆盒里． 使用单一晶圆手臂，在保证晶圆安全下，和晶圆背面有最少的线性接触． 本产品由纯净有机材料制成，具有静电保护功能，所有符合ＳＥＭＩ标准的晶圆盒都可以使用 SPP200 – wafer sorter RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading． Transfer wafer from one carrier to another carrier．
