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SRT300 – 单片导片机（独立式）
2013-11-13
SRT300 – 单片导片机（独立式） 世界晶圆传送设备主要厂商RECIF生产的无真空晶圆边缘接触或晶圆背面三点接触式超清洁导片机。 本设备自带FFU环境，洁净度达到0.1级 本产品集成晶圆定位和晶圆刻号读写功能在传送手臂上，所以本产品具有体积小，传送效率高和最低的生产成本。 可选择配置2，3或4个晶圆盒装载台。 SRT300 –wafer sorter（stand alone） Vacuum free edge contact wafer handling。 Class 0.1 mini-environment – In house developed FFU Patented embedded alignment and ID reading on finger。 Smallest footprint 2 to 4 FOUP configuration available.
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SPP200S – SMIF型导片机
请参阅： http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11 please see details at： http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3&id_prod=11
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ESR300 – 单片导片机（集成式）
ESR300 – 单片导片机（集成式） 本产品可以和市场上主要的晶圆储存系统（wafer stocker）集成在一起，以帮助客户减少生产成本。 可选择配置2或4个晶圆装载台 ESR300 – wafer sorter（embedded with stocker） It can be embedded with stocker, reduce fab running cost。 Patented embedded alignment and ID reading on finger 2 or 4 FOUP configuration available
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BPP300 – 25片整批导片机
BPP300 – 25片整批导片机 RECIF专利 – 无真空晶圆边缘接触式整批导片机，可以实现25片晶圆一次转移到另一晶圆盒。 每小时可导片2，800片。 BPP300 – 25 transfer system RECIF patented – Vacuum free edge contact 25 wafers transfer system， Transfer 25 wafers at once Throughput – 2800WPH。
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BLM300 – 强光灯检测模块
BLM300 – 强光灯检测模块 本产品可以放置在晶圆导片机或生产设备的晶圆装载台上，透过三个特制的强光灯的灯光，操作工可以检测晶圆表面的颜色均匀度，灰尘颗粒和划伤。 BLM300 – Bright Light Module The bright light module can be placed on the load port of a compatible 300mm wafer sorter or process tool, used in automatic or manual mode, operator can use it to inspect wafer surface for color uniformity, particles and scratches.
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SPP200D – 非SMIF型导片机
详情请参阅：http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3 please see deatils at：http://www.reciftech.com/index.php?id=89&id_cat=3
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光罩检测晶圆排序机
光罩检测晶圆排序机 法国RECIF的SPR光罩设备是自动光罩移片机,并带有灰尘颗粒检测和消除静电功能, 本设备可以使用SMIF盒和手动打开的光罩运输盒, 可以把光罩从光罩运输盒传送到SMIF盒里. 本产品不需真空,可以读光罩刻号并具有实时光罩安全监测功能. SPR – Reticle handling and inspection The RECIF’s SPR reticle tool is automated reticle sorter with an inspection station combined with a de-ionized nitrogen cleaning feature. The reticle tool can be configured for both manual open shipping boxes and SMIC compatibility, reticles can be transfer from shipping box to SMIF POD’s Vacuum free reticle transfer and ID read.
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NEF200 – 晶圆缺口定位和晶圆提升机
NEF200 – 晶圆缺口定位和晶圆提升机 本产品可以定位晶圆缺口到任意需要的角度，然后把所有晶圆抬成阶梯形，在光照下，操作工可以读晶圆刻号和检测晶圆损伤. 本产品由纯净有机材料制成，具有静电保护功能，所有符合ＳＥＭＩ标准的晶圆盒都可以使用. NEF200 – Notch finder and elevator The NEF200 incorporates a notch aligner to position wafers at a desired angle and the elevates all wafers at a slope. A lighting ramp enables the operator to visually read wafer scribes or inspect wafers. The tools are made of clean organic material．Provide true ESD protection.
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SPP200 – 单片导片机
SPP200 – 单片导片机 本产品使用非真空技术，可以从同一晶圆盒取放晶圆，或从一晶圆盒取晶圆，但放到另一晶圆盒里． 使用单一晶圆手臂，在保证晶圆安全下，和晶圆背面有最少的线性接触． 本产品由纯净有机材料制成，具有静电保护功能，所有符合ＳＥＭＩ标准的晶圆盒都可以使用 SPP200 – wafer sorter RECIF patented vacuum free edge contact, embedded wafer alignment and ID reading． Transfer wafer from one carrier to another carrier．
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BPP200 – 整批导片机
BPP200 – 整批导片机 本产品使用无真空技术 晶圆整体从一个晶圆盒拿出，放到另一个晶圆盒里 实时晶圆安全监测 可以选择一个或两个晶圆盒放置台 BPP200 – Batch wafer transfer Vacuum free edge contact Transfer batch wafers One or two load port optional
